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Röntgenmikroskopie

Equipment

Röntgenmikroskop XRM II

Eigenbauanlage auf Basis eines JEOL JSM-7100F REM

Reflexionstarget:     nadelförmiges Molybdän oder Wolfram
Detektor:                   direkt photonenzählender Detektor
Vergrößerung:          bis 1000x
Auflösung:                unter 100 nm

Rasterelektronenmikroskop

REM Auflösung:                         1.2 nm @ 30kV
Vergrößerung:                            bis 10^6
Beschleunigungsspannung:    30kV

  • Quelle: Rigaku Microfocus-Quelle mit Drehanode (Leistung: 1,2 kW)

  • Multilayer: Parabolischer Göbelspiegel für die Cu-Kα-Linie bei 1.54 Å

  • Kollimatoren: 3 motorisierte Kollimatoren mit je 4 individuell beweglichen Hybrid-Klingen (Einkristalle)

  • Achsen: je 3-Linearachsen für Detektor- und Probenpositionierung, zusätzlich eine 360°-Rotationsachse für Probendrehbarkeit

  • Probenumgebungen: Halterung für bis zu 8 feste Proben, Kapillarhalterung für bis zu 10 Kapillaren, Halterung mit Heizung für 1 Kapillare (Temperaturbereich: -5 – 80 °C)

  • Detektoren: Dectris EIGER 1M (1035 x 1065 Pixel, Pixelgröße: 75 µm)

© Fraunhofer IIS/Kurt Fuchs 
Experimentelles Röntgenmikroskop auf Basis abbildender Röntgenoptiken

 

  • Hochleistungs-Mikrofokusquelle mit Flüssigmetallanode
  • Target aus einer Galliumlegierung
  • selbstentwickelter hochauflösender Szintillationsdetektor mit variabler Optik und einem Pixelsampling von 600 nm
  • Probensampling bis zu 50 nm
  • Bildgebung mit Gallium KA Linie bei 9.2 keV

Kompaktes Computertomographie-System zur Visualisierung kleinster Objekte

  • neuartige Nano-Fokus-Quelle mit 60 kV Beschleunigungsspannung
  • quellfleckbegrenzte Auflösung bis zu 150 nm
  • direkt photonenzählender Detektor

µCT-Anlage für Dienstleistung und Entwicklung neuer CT-Methoden

  • Mikro- und ROI-CT
  • Laserscanner
  • In situ Zug-/Druck Prüfapparat (vorauss. Q3/2019)
  • max. Sichtfeld: 27 cm rund (Messfelderweitert)
  • schnelle Scans: 30 min, lange Scans: 2-3 Stunden

 

Röntgenquelle: X-Ray WorX XWT-190-THCE PLUS (20 - 190 kV, 50 W/10 W mit High-Energy/High-Resolution-Target, 2 µm JIMA Resolution)

Detektor: Dexela NDT1512 (14-bit CMOS-Detektor mit Gd2O2S:Tb-Szintillator, 1944 x 1536 Pixel, 74,8 µm Pixel, 115,4 mm x 114,9 mm sensitive Fläche

Auflösung: die höchste erreichbare Auflösung liegt bei 0,6µm, die geringste bei etwa 75µm.

kompate subµ-CT mit flexiblen Komponenten

  • umrüstbares System auf Phasenkontrast und Dunkelfeld-CT
  • hervorragend geeignet für Materialforschung zur Analyse dreidimensionaler Strukturen