Gottfried-Landwehr-Labor für Nanotechnologie (früher: Mikrostrukturlabor)

Das Gottfried-Landwehr-Labor für Nanotechnologie (früher Mikrostrukturlabor) als zentrale Betriebseinheit wird betrieben vom Lehrstuhl für Technische Physik.

Nanometerstrukturentwicklung für optoelektronische Bauauelemente und Grundlagenuntersuchungen

Die Forschungsarbeiten im Würzburger Mikrostrukturlabor betreffen die Entwicklung von Halbleiterstrukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Hierbei werden mit Hilfe hochauflösender lateraler Strukturierungsverfahren sowohl neuartige opto­lektronische Bauelemente für Anwendungen wie für Grundlagenuntersuchungen entwickelt. Die typi­schen Größen der Nanostrukturen liegen im Bereich wischen 100 Nanometern (1 Nanometer (= 1 nm) entspricht einem Milliardstel Meter) und 10 nm. Im ergleich zum Durchmesser eines Haares sind das 1.000 bis 10.000-fach geringere Abmessungen. Aufgrund des Atomabstandes in den Halbleitermaterialien von ca. 1/4 nm bedeutet dies, daß die trukturweite in den kleinsten in Würzburg bisher entwickelten Strukturen durch ca. 40 Atome gebildet wird.

MSLBei den Würzburger Arbeiten zur Technologie­entwicklung ergeben sich besonders hohe Anforde­rungen, da beispielsweise für Laserstrukturen auf der Basis von Halbleiternanostrukturen diese sehr ge­ringen Dimensionen über relativ große Strecken prä­zise einzuhalten sind.

Beispielsweise besitzt ein Halbleiterlaser auf der Basis von ultradünnen „Quantendrähten" oder „Quantenpunkten" eine typi­sche Länge von 1 mm. Über diese Strecke müssen die aktiven Elemente mit Weiten im 10 nm Bereich mit einer Präzision im 1 nm Bereich reproduzierbar hergestellt werden.

Die außerordentlich hohe Präzision mit der die Nanometerstrukturen hergestellt werden müssen, führt zu sehr strengen Anforderungen an die Aus­führung des Reinstraumlabors. Diese Anforderungen betreffen die Staubfreiheit der Laborluft, eine präzi­se Kontrolle der Feuchtigkeit und der Temperatur sowie ein möglichst vollständiges Vermeiden von elektromagnetischen und mechanischen Störungen bei den Herstellungsprozessen.

In Gedenken an den Visionär und Pionier auf dem Bereich der Halbleiterforschung in Deutschland und ehemaligen Kollegen Prof. Dr. Dr. h.c. Gottfried Landwehr wurde das frühere Mikrostrukturlabor im Jahre 2013 in "Gottfried-Landwehr-Labor für Nanotechnologien" umbenannt. Informationen und ein Nachruf sind zu finden auf der Webseite zur Gedenkfeier.